空氣過濾器的選用和配置： 潔凈室潔凈棚的凈化空調(diào)系統(tǒng)根據(jù)大氣含塵濃度、大氣中各種污染物濃度和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)及要求配置各類空氣過濾器——粗效、中效、高中效、亞高效和高效、超高效以及化學(xué)過濾器等。具體凈化空調(diào)系統(tǒng)中空氣過濾器的配置和選用應(yīng)根據(jù)潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的特殊要求（當(dāng)工藝無特殊要求時(shí)，一般都是按空氣潔凈度等級(jí)配置）合理配置和選用，對(duì)于6級(jí)（1 000級(jí)）和比6級(jí)潔凈度差的潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)通常采用三級(jí)空氣過濾，即粗效、中效和高效過濾器；粗效、中效（或中高效）過濾器，通常設(shè)在空氣處理裝置（AHU）內(nèi)，且將中效或中高效設(shè)在正壓段；高效或亞高效過濾器一般設(shè)在潔凈室內(nèi)凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端，也有將高效過濾器集中設(shè)在集中的空氣處理裝置（AHU）內(nèi)，但此時(shí)應(yīng)對(duì)送風(fēng)管道提出嚴(yán)格的清潔要求，以避免凈化后的空氣被污染。對(duì)于5級(jí)（100級(jí)）和更嚴(yán)格的潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)中空氣過濾器的配置，應(yīng)根據(jù)潔凈室的總體設(shè)計(jì)方案及采用的凈化空調(diào)系統(tǒng)的要求配置各類過濾器，比如有的集成電路生產(chǎn)用4級(jí)（O.ltim）和更嚴(yán)要求的潔凈室采用新風(fēng)集中處理，為了嚴(yán)格去除大氣中的微粒和各種污染物，通常在新風(fēng)處理裝置中設(shè)置粗效、中效（中高效）、亞高效甚至高效過濾器和化學(xué)過濾器或水噴淋裝置等；在潔凈室的循環(huán)風(fēng)系統(tǒng)還設(shè)有高效、超高效和化學(xué)過濾器等；有的集成電路生產(chǎn)用潔凈室還在生產(chǎn)過程的某些生產(chǎn)區(qū)、生產(chǎn)工序或工藝設(shè)備設(shè)微環(huán)境裝置，以確保產(chǎn)品生產(chǎn)所需的空氣潔凈度要求。近年來，由于大氣質(zhì)量的下降，特別是除大氣塵以外的一些化學(xué)污染物或微生物等的增加，某些工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的更為嚴(yán)格的要求，在許多情況下僅僅采用“三級(jí)過濾器”的空氣凈化處理的概念已不能滿足需要，因此在進(jìn)行潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)，應(yīng)認(rèn)真了解產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和當(dāng)?shù)氐拇髿赓|(zhì)量情況，實(shí)事求是地進(jìn)行空氣過濾器的配置。
空氣過濾器的額定風(fēng)量是過濾器在一定的濾速下，過濾器效率和阻力合理選擇時(shí)的風(fēng)量；所以在確定空氣過濾器型號(hào)規(guī)格時(shí)，一般應(yīng)按小于或等于額定風(fēng)量選用。有時(shí)在具體工程設(shè)計(jì)中經(jīng)過技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較和實(shí)際可能，常常風(fēng)淋室小于額定風(fēng)量選用過濾器，使阻力降低，可使凈化空調(diào)系統(tǒng)的運(yùn)行能量消耗下降，據(jù)資料ElOJ介紹，若采用模壓法制作過濾器可將過濾器阻力進(jìn)一步降低，有利于降低凈化空調(diào)系統(tǒng)的能耗。
中效過濾器宜集中設(shè)在系統(tǒng)的正壓段，這是考慮到若設(shè)在負(fù)壓段時(shí)，易使沒有經(jīng)過中效空氣過濾器過濾的污染物較多的空氣漏入系統(tǒng)中，增加后續(xù)的高效過濾器等的負(fù)荷，縮短高效過濾器等的使用壽命。凈化空調(diào)系統(tǒng)中的高效過濾器作為末端過濾器時(shí)，宜設(shè)在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端，一般設(shè)在潔凈室的頂棚上；對(duì)可能產(chǎn)生有害氣體或有害微生物的潔凈室，其高效過濾器的設(shè)置應(yīng)盡量靠近潔凈室，以防止這些有害污染物污染管道或由于管道漏風(fēng)使禾經(jīng)過濾的臟空氣污染生產(chǎn)環(huán)境；超高效過濾器必須設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端，以確保潔凈室所需的空氣潔凈度等級(jí)；為便于潔凈室內(nèi)風(fēng)量分配及室內(nèi)平面風(fēng)速場(chǎng)的調(diào)整，一般將阻力、效率相近的高效過濾器安裝在同一潔凈室或潔凈區(qū)，使系統(tǒng)阻力容易平衡。 潔凈室設(shè)計(jì)者在進(jìn)行空氣過濾器選型時(shí)，最為關(guān)注的是過濾器在額定風(fēng)量下的效率、阻力等主要性能參數(shù)，這些性能參數(shù)在各個(gè)國(guó)家地區(qū)均有各自的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定及相應(yīng)的檢測(cè)方法，各過濾器生產(chǎn)廠家也根據(jù)以上標(biāo)準(zhǔn)制定自己的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)提供給用戶，其中過濾器效率的標(biāo)準(zhǔn)、試驗(yàn)方法各不相同，歐洲在20世紀(jì)70年代便推出了EU系列空氣過濾器標(biāo)準(zhǔn)，從EU1～EU14共14個(gè)等級(jí)；20世紀(jì)90年代又推出了G-FPH-U的分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，共有17個(gè)等級(jí)；1996年美國(guó)也推出以C1～C4、L5～L7、M9～M12、H13～H16、UH17～UH20的過濾器效率分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)；1999年歐洲標(biāo)準(zhǔn)委員會(huì)（CEN）又以EN1822-1發(fā)布了MPPS（最易穿透粒徑）的測(cè)試方法和分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)；風(fēng)淋室廠家在后面將介紹我國(guó)制定的空氣過濾器和高效空氣過濾器的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的情況，過濾器效率分級(jí)為粗效、中效、高中效、亞高效和A、B、C、D高效過濾器等。
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