FFU空氣過濾器主要有以下幾點優(yōu)點：
1.節(jié)約空間——利用FFU風機過濾單元可以有效的節(jié)省空間，解決潔凈室吊頂頂端維修空間狹小的問題。
由于高級別的潔凈廠房需要百級甚至十級層流罩來解決工藝需求，潔凈室的吊頂?shù)纳喜繉⒃O立一個個巨大的送風靜壓箱，靜壓箱內(nèi)設立通風機，這些靜壓箱連同送風管、回風管從而會占據(jù)很大的空間，使得維修空間變得狹小，有時甚至影響消防通道的使用。
當我們使用FFU時，潔凈室的吊頂將會被分為若干模塊，每個模塊就是一個FFU，這樣我們可以通過調(diào)節(jié)每個模塊來滿足吊頂上部送風靜壓箱的壓力平衡的要求，從而大大降低了對該靜壓箱高度的要求。同時可以省去巨大的送風管、回風管，所以可以節(jié)省安裝空間。特別是在改造工程受到層高限制時，F(xiàn)FU可以有效的解決這一問題。
而且FFU尺寸多樣，可根據(jù)潔凈室的實際大小來定制，且正因為這個原因，其占用送風靜壓箱內(nèi)較少的層高，甚至基本上不占用潔凈室內(nèi)空間，所以能夠更好地節(jié)省空間。
2.FFU靈活性——利用FFU獨立性的結(jié)構(gòu)特點，可隨時調(diào)整，彌補潔凈室機動性能不足，從而解決了生產(chǎn)工藝不宜調(diào)整的缺點。
潔凈室廠房的維護結(jié)構(gòu)一般為金屬性板制作，一般建成后，布局不能隨意改動，但由于生產(chǎn)工藝的不斷更新，使得原有的廠房潔凈度布局不能滿足新工藝的需求，導致潔凈室由于產(chǎn)品換代需要頻繁的改動，大量浪費財力、物力。
如果通過增減FFU數(shù)量的方法，就可以局部調(diào)整房間的潔凈度布局，用以滿足工藝的改動，而且FFU自帶動力、風口、燈具，從而可以節(jié)省大量的投資。這對于通常集中送風的凈化系統(tǒng)來說幾乎是不可能達到同樣效果的。
因為FFU是自帶動力的，它不受區(qū)域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里，可根據(jù)需要，分區(qū)控制。而且，隨著半導體生產(chǎn)工藝的變化，廠房布局必然要作相應調(diào)整，F(xiàn)FU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松，而且不會帶來二次投資。
3.減少運行成本——FFU系統(tǒng)節(jié)能顯著，從而解決了空調(diào)機房龐大、空調(diào)機組運行費用增高的集中送風的缺點。
如果面積較大的潔凈室廠房的個別潔凈間有較高的潔凈級別的需求，那么集中送風的空調(diào)機組風量較大，風機壓頭較高，才能克服風管管道的阻力以及初效過濾器，中效過濾器，高效過濾器的阻力，才能滿足需求。而且集中送風系統(tǒng)只要空調(diào)機出現(xiàn)故障，就會造成這臺空調(diào)機所涉及的全部潔凈室停止運行。
雖然在前期選用FFU時，初期投資要比使用風管通風高，但它在后期運行中，突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護等特點，使得FFU更受歡迎。
4.負壓密封
這是FFU的獨特特點。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風靜壓箱相對于潔凈廠房負壓。因此即使風口安裝存在泄漏，也是潔凈室向靜壓箱泄漏，不會形成對潔凈室的污染。使得密封變得很簡單而且安全。
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